五軸龍門(mén)超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

[ 時(shí)間：2022-08-31 10:08:40 ]

詳細(xì)信息

產(chǎn)品用途:

五軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求，適用于超鏡面加工、OLED、加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、晶圓檢測(cè)、三維形貌等高端制造行業(yè)。

產(chǎn)品特性：

?直線軸行程200mm*200mm*100mm (XYZ)；
?旋轉(zhuǎn)軸行程110°*360°（AB軸）；
?X、Y、A、B直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu)，高精度；
?Z軸交叉滾柱導(dǎo)軌，納米級(jí)定位微波；
? 優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)、行程可定制。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品類型	HJSK-0350-0300-0150-0150-360	HJSK-0400-0300-0150-0150-360
行程	350mm x 300mm x 150mm x150mm-360°	400mm x 300mm x150mm x150mm-360°
分辨率	0.3nm	0.3nm
定位精度	300nm	300nm
重復(fù)定位精度	±80nm	+80nm
直線度	±0.3μm	±0.3μm
平面度	±0.3μm	±0.3μm
橫滾	±1 arcsec	±1 arcsec
俯仰	±1 arcsec	±1 arcsec
偏航	±1 arcsec	±1 arcsec
最大速度	1000mm/s	1000mm/s
旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度	±0.5arcsec	±0.5arcsec
最大加速度	4g	4g
最大負(fù)載	50kg	50kg
A	1150mm	1200mm
B	1300mm	1300mm
C	1215mm	1215mm

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