動(dòng)臺(tái).webp "超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
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名稱 |
X軸 |
Y軸 |
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行程 |
300mm |
300mm |
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重現(xiàn)精度 |
±50 nm |
±50 nm |
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定位精度 |
±100 nm |
±100 nm |
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最大速度 |
500mm/s |
500mm/s |
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最大加速度 |
5000mm/s2 |
5000mm/s2 |
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正交性 |
2arcsec |
2arcsec |
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水平直線度 |
±1μm |
±1μm |
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垂直直線度 |
±1μm |
±1μm |
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負(fù)載 |
25kg |
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動(dòng)臺(tái).webp "五軸龍門超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
動(dòng)臺(tái).webp "四軸龍門超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
動(dòng)臺(tái).webp "雙軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
.webp "超精密氣浮直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")