動臺.webp "雙軸超精密氣浮運(yùn)動臺}")
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運(yùn)動軸 |
X(掃描) |
Y(步進(jìn)) |
X(掃描) |
Y(步進(jìn)) |
X(掃描) |
Y(步進(jìn)) |
|
行程（mm） |
400 |
400 |
500 |
500 |
600 |
600 |
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定位精度（um） |
±0.15 |
±0.2 |
||||
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重復(fù)定位精度 (nm) |
±75 |
±100 |
||||
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分辨率（nm） |
0.3 |
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最大速度（m/s） |
1 |
|||||
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加速度（g） |
4 |
|||||
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直線度（um） |
±0.2 |
±0.3 |
±0.4 |
|||
|
在位穩(wěn)定性（nm） |
±5 |
|||||
|
最大負(fù)載（Kg） |
20 |
|||||
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動臺.webp "五軸龍門超精密氣浮運(yùn)動臺}")
動臺.webp "四軸龍門超精密氣浮運(yùn)動臺}")
動臺.webp "超精密氣浮運(yùn)動臺}")