伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺(tái)，這是一種用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工、測(cè)試測(cè)量等高精度設(shè)備，今天來了解一下超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的特性。
  1、直線度和平面度高
  2、定位精度和重復(fù)定位高
  3、速度穩(wěn)定性高
  4、偏擺、俯仰、滾動(dòng)精度高

  氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了好的氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著好的性能精度，實(shí)現(xiàn)Z大速度2米/秒，能夠擁有4G的加速度，而且承載的能力也非常的好。

  氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)基于空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。在測(cè)量設(shè)備、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用不帶鐵芯的設(shè)計(jì)，具有無(wú)齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)，使在運(yùn)動(dòng)過程中能達(dá)到超平穩(wěn)的效果，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及先進(jìn)性控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度和重復(fù)定位精度。