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性能參數(shù) |
X1/X2軸 |
Y軸 |
θ軸 |
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行程 |
450mm |
500mm |
360° |
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參數(shù) |
0.6m/s |
1m/s |
180% |
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加速度 |
1g |
1.5g |
— |
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直線度 |
2μm |
1μm |
— |
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XY垂直度 |
2μm/300mm |
— |
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解析度 |
50nm |
50nm |
0.0001° |
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定位精度 |
±1μm/300mm |
±1μm/300mm |
-- |
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重復定位精度 |
1μm |
1μm |
1μm |
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負載 |
— |
12KG |
8KG |
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