產(chǎn)品用途:

  采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，利用空氣彈性勢(shì)能作為支撐導(dǎo)軌，具備好的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，最大空載速度1500mm/s，空載加速度可達(dá)1g，主要應(yīng)用于大型光學(xué)透鏡檢測(cè)，半導(dǎo)體領(lǐng)域的缺陷檢測(cè)，精密制造和封裝，可以根據(jù)客戶(hù)的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

  產(chǎn)品特性：

  ?非接觸、零摩擦直驅(qū)氣浮平臺(tái)
  ?高動(dòng)態(tài)性能（截止頻率大于120Hz）
  ?磁預(yù)載空氣軸承，零摩擦氣浮平臺(tái)
  ?為高性能掃描和檢測(cè)應(yīng)用量身設(shè)計(jì)
  ?分辨率1nm，重復(fù)定位精度±1 μm，定位精度±0.2 μm
  ?氣隙平均效應(yīng)，直線(xiàn)度平面度可達(dá)±25μm/100mm
  ?行程最可達(dá)500mm，帶線(xiàn)纜管理選項(xiàng)
  ?高精密零膨脹光柵反饋可選

  技術(shù)參數(shù)：

平臺(tái)型號(hào)	HJQF165-50	HJQF165-100	HJQF165-200	HJQF165-300	HJQF165-400	HJQF165-500
有效行程	50 mm	100 mm	200 mm	300 mm	400 mm	500 mm
絕對(duì)定位精度	±0.2 μm	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4μm	±0.5 μm
雙向重復(fù)定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0. 25μm	±0.3 μm
俯仰	±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2.5 arc sec	±3 arc sec	±3.5 arc sec	±4 arc sec
偏擺	±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2.5 arc sec	±3 arc sec	±3.5 arc sec	±4 arc sec
直線(xiàn)度	±0.3 μm	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 μm	±1.5 μm	±2 μm
平面度	±0.3 μm	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 μm	±1.5 μm	±2 μm
平臺(tái)重量	13 kg	15 kg	18kg	23 kg	27kg	30 kg
最大水平負(fù)載	15 kg
分辨率	1 nm
最小步進(jìn)量	10 nm
在位穩(wěn)定性	±10 nm
最大速度	1500 mm/s
最大加速度	1 g
持續(xù)推力	41.2 N
峰值推力	243.7 N
工作氣壓	5.5 bar (建議干燥空氣，濾水濾油，粉塵過(guò)濾到0.5μm以下)