雙Z軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

[ 時(shí)間：2022-08-31 10:08:20 ]

詳細(xì)信息

產(chǎn)品用途：

雙Z軸六軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，滿足高速度、高加速度、高精度的產(chǎn)品定制需求。適用于玻璃薄片檢測(cè)、玻璃切割、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、三維形貌等高端制造業(yè)。

產(chǎn)品特性：

? X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，保證高速度高加速度和亞微米級(jí)精度，XY 直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，θ1、θ2直驅(qū)DD馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，Z1、Z2直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)配備平衡氣缸，斷電保護(hù)。
?最大速度1000mm/s,加速度1g;
?旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)定位精度1 arcsec;
?XY正交2arcsec;
?高精度光柵尺反饋。

技術(shù)參數(shù)：

名稱	X軸	Y軸	Z1軸	Z2軸	A軸	c軸
行程	600mm	400mm	230mm	150mm	190°	360°
最大速度	600m m/s	600mm/s	200m m/s	200mm/s	300rpm	300rpm
加速度	0.5g	0.5g	0.5g	0.5g	―	―
平面度	5 μm	3 μm	5 μm	5 μm	10 μm（軸向跳動(dòng)）	10 μm（軸向跳動(dòng)）
直線度	±2 μm	±1 μm	±2 μm	± 2 μm	10 μm（徑向跳動(dòng)）	10 μm（徑向跳動(dòng)）
分辨率	100nm	100nm	100nm	100nm	—	―
重復(fù)定位精度	±0.75 μm	±0.75 μm	±1 μm	+ 1 μm	±3arcsec	±3arcsec
定位精度（補(bǔ)償后）	±1.5 μm	±1.5 μm	±5 μm	±5 μm	±8arcsec	±8arcsec

上一篇：雙軸高精密線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)
下一篇：暫無(wú)記錄

相關(guān)產(chǎn)品

熱門資訊

線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)特性及用途