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雙軸線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)
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雙軸線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)

[ 時(shí)間:2022-08-31 10:08:23 ]
雙軸線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)}
  • 詳細(xì)信息

  產(chǎn)品用途:

  無(wú)鐵芯式直線電機(jī),適合點(diǎn)到點(diǎn)精密定位及要求等速的掃描運(yùn)動(dòng),直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的X-Y平臺(tái)系統(tǒng),以其快速的響應(yīng)、準(zhǔn)確的定位和高可靠性而廣泛應(yīng)用于高速自動(dòng)化設(shè)備、精密測(cè)量系統(tǒng)、電子與半導(dǎo)體加工設(shè)備,激光加工設(shè)備等領(lǐng)域。

  產(chǎn)品特性:

  高速度、無(wú)頓力、高精度、高組裝容易、光學(xué)檢測(cè)運(yùn)用、高剛性的鋁結(jié)構(gòu)

  技術(shù)參數(shù):

名稱

X

Y

行程

200mm

200mm

分辨率

1nm

定位精度

±0.5μm

重復(fù)定位精度

±0.1 μm

直線度

±1.5 μm

平面度

±1.5μm

正交性

5 arc sec

速度穩(wěn)定性

±0.1%100mm/s

反饋噪聲

±15nm

最大速度

200mm/s

最大加速度

0.5g

最大負(fù)載

20kg

A

473mm

B

426mm

C

117.5mm


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