產(chǎn)品類型 |
HJXY-0200-0200-NS01 |
HJXY-0300-0300-NS02 |
HJXY-0500-0400-NS03 |
行程 |
200mm x 200mm |
300mm x 300mm |
500mmx400mm |
編碼器 |
Sin-Cos |
Sin-Cos |
Sin-Cos |
分辨率 |
100nm |
100nm |
100nm |
定位精度 |
±1.0 μm |
±2.0 μm |
±2.0 μm |
重復定位精度 |
±0.75 μm |
±1 μm |
±1 μm |
直線度 |
±1.0 μm |
±1.5 μm |
±2.0 μm |
平面度 |
±1.0 μm |
±2.0 μm |
±2.5 μm |
橫滾 |
±3arcsec |
±4arcsec |
±4.5arcsec |
俯仰 |
±3arcsec |
±4arcsec |
±4.5arcsec |
偏航 |
±3arcsec |
±4arcsec |
±4.5arcsec |
最大速度 |
1000mm/s |
1000mm/s |
1000mm/s |
最大加速度 |
1g |
1g |
1g |
最大負載 |
50kg |
50kg |
50kg |
A |
558mm |
660mm |
860mm |
B |
558mm |
660mm |
760mm |
C |
193mm |
215mm |
230mm |
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