四軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

[ 時(shí)間：2022-08-31 10:08:18 ]

詳細(xì)信息

產(chǎn)品用途：

四軸精密度線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)，滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求，適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、三維形貌等高端制造行業(yè)。

產(chǎn)品特性：

?X、Y、Z工作臺(tái)，直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360°角度旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺(tái)大理石橫梁, 直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)垂向運(yùn)動(dòng)；配套平衡氣缸支撐，防止斷電掉落；
?亞微米級(jí)重復(fù)定位精度；
?最大速度1000mm/s,最大加速度1g;
?單軸直線度可達(dá)±1.5μm,運(yùn)動(dòng)平面度可達(dá)±2.0μm;
?X、牌軸正交性可達(dá)±2.0μm；
?直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，光柵尺編碼反饋。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品類型	HJYZ-0350-0300-0100-360	HJYZ-0500-0400-0100-360
行程	350mm x 300mm x 100 mm -360°	500mm x400mm x 100 mm-360°
分辨率	100nm	100nm
定位精度	+ 1.0μm	±2.0μm
重復(fù)定位精度	±0.75μm	±1μm
直線度	± 1.0μm	±1.5μm
平面度	± 1.0μm	±2.0μm
橫滾	±3arcsec	±4arcsec
俯仰	+3arcsec	±4arcsec
偏航	+3arcsec	±4arcsec
最大速度	1000mm/s	1000mm/s
旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度	±0.57arcsec	±0.57arcsec
最大加速度	1g	1g
最大負(fù)載	50kg	50kg
A	1200mm	1250mm
B	900mm	1000mm
C	895mm	895mm

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