大尺面多軸精密運(yùn)動平臺1

[ 時間：2022-08-31 10:08:56 ]

詳細(xì)信息

產(chǎn)品用途:

大尺寸自動光學(xué)檢測設(shè)備stage工作臺，應(yīng)用5代TFT-LCD顯示面板的缺陷檢測等。

產(chǎn)品特性：

? 設(shè)備滿足X+Y+Z三個方向的位移運(yùn)動，可實現(xiàn)X,Y高精度步進(jìn)和掃描運(yùn)動，Z向高精度的微動聚焦;
? X, Y采用高精度直線導(dǎo)軌、花崗巖大理石基座，低摩擦保證了運(yùn)動平面度和直線度;
? 無鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動，降低推力波動，提高運(yùn)動穩(wěn)定性；
? 高分辨率光柵系統(tǒng)作位置反饋。

技術(shù)參數(shù)：

名稱	X0-1 軸	YO-1 軸	Y2軸	Y3-4 軸	Z1-5 軸
行程	1900mm	1400mm	240mm	1400mm	12mm
最大速度	1000mm/s	1000mm/s	500mm/s	1000mm/s	-
加速度	5m/s	5m/s	2.5m/s	5m/s	50mm/s
平面度	±10 μm	±10μm	±10μm	±10μm	-
定位精度	±3pm/500mm	±10μm	±10 μm	±10 μm	0.2μm
定位精度	全行程±8μm	±10μm	±10 μm	±10 μm	0.2μm
重復(fù)定位精度	±1pm	±1μm	±1μm	±1μm	±0.1 μm
直線度	±2pm/200mm	±10μm	±12μm	±10μm	-
直線度	全行程±10μm	±10μm	±12μm	±10μm	-
速度波動	0.2%120mm/s	-	-	-	-

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