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HJAA氣浮高直線度高精度系列
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HJAA氣浮高直線度高精度系列

[ 時間:2022-08-31 09:08:14 ]
HJAA氣浮高直線度高精度系列}
  • 詳細信息

  產品用途:

  主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。

  產品特性:

  ?分辨率:可達1nm;
  ?直線度/平面度:優(yōu)于1μm;
  ?高穩(wěn)定性花崗石基臺;
  ?重復定位精度:優(yōu)于0.5 μm。

  技術參數(shù):

產品類型

HJAA-0300

HJAA-0500

HJAA-0600

HJAA-0800

HJAA-1000

行程

300mm

500mm

600mm

800mm

1000mm

電機推力

連續(xù):140N 峰值:480N

編碼器

50nm

分辨率

50nm

定位精度

±1μm

±1μm

±1μm

±1.5 μm

±2μm

重復定位精度

±0.2μm

±0.2 μm

±0.3μm

±0.4μm

±0.5 μm

直線度

±2μm

±2μm

±3μm

±4μm

±5μm

平面度

±2μm

±2μm

±3μm

±4μm

±5μm

橫滾

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

俯仰

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

偏航

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

最大速度

2m/s

最頻速度

4g (空載)

最大負載

30kg

(平臺長度)

722mm

922mm

1082mm

1262mm

1402mm

Sx150 (安裝孔長度)

4x150

5x150

6x150

7x150

8x150

N(安裝孔數(shù)量)

10

12

14

16

18


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